JG-2KW-F 型射頻等離子電源
發布時間:2020-03-30
JG-2KW-F 型射頻等離子電源
主要技術指標:
輸出功率:0-2KW連續可調 輸出頻率:13.56MHz
冷卻方式:強制風冷 輸出阻抗匹配范圍:(2.7-75)Ω
頻率穩定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C) 供電方式:380V 三相四線制
耗電量滿功率輸出時:≤3.5KW 連續工作時間:8小時
具有手動調節網絡參數達到匹配功能 本電源:設有微機外控接口
機柜尺寸:1500*550*600
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