JG-5KW-F 型射頻等離子電源
發布時間:2020-04-01
JG-5KW-F 型射頻等離子電源
主要技術指標:
輸出功率:0-5KW連續可調
輸出阻抗匹配范圍:(2.7-75)Ω j(0~70)Ω
輸出頻率:13.56MHz(輸出頻率2MHZ-40.68MHZ單定制)
供電方式:380V 三相四線制
耗電量:滿功率輸出時:≤8KW
連續工作時間:8小時
具有手動調節網絡參數達到匹配功能
冷卻方式:強制風冷
機柜尺寸:寬550高1800深600mm
匹配網絡: 寬:440高120深340面板484X140mm
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