JG-3KW-F 型射頻等離子電源

主要技術指標：

輸出功率0-3kw連續可調

輸出頻率:13.56MHZ（輸出頻率2MHZ-40.68MHZ單定制）

輸出阻抗匹配范圍：(2.7-75)Ω  j（0～70）Ω

頻率穩定度：≤1.0×10￣6 （20。C）

供電方式：3800V AC三相四線

冷卻方式：強制風冷

耗電量滿功率輸出時：≤4.5KW

連續工作時間：8小時

具有手動調節網絡參數達到匹配功能

本電源:設有微機外控接口

機柜尺寸：寬600高1500深600mm  

匹配網絡： 寬：440高120深340面板484X140mm