1. JG-3KW-F 型射頻等離子電源

      發布時間:2021-08-09

      產品詳情

      JG-3KW-F 型射頻等離子電源

      主要技術指標:

      輸出功率0-3kw連續可調

      輸出頻率:13.56MHZ(輸出頻率2MHZ-40.68MHZ單定制)

      輸出阻抗匹配范圍:(2.7-75)Ω  j(0~70)Ω

      頻率穩定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C)

      供電方式:3800V AC三相四線

      冷卻方式:強制風冷

      耗電量滿功率輸出時:≤4.5KW

      連續工作時間:8小時

      具有手動調節網絡參數達到匹配功能

      本電源:設有微機外控接口

      機柜尺寸:寬600高1500深600mm  

      匹配網絡: 寬:440高120深340面板484X140mm

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