JG-3KW-F 型射頻等離子電源
發布時間:2021-08-09
JG-3KW-F 型射頻等離子電源
主要技術指標:
輸出功率0-3kw連續可調
輸出頻率:13.56MHZ(輸出頻率2MHZ-40.68MHZ單定制)
輸出阻抗匹配范圍:(2.7-75)Ω j(0~70)Ω
頻率穩定度:≤1.0×10 ̄6 (20。C)
供電方式:3800V AC三相四線
冷卻方式:強制風冷
耗電量滿功率輸出時:≤4.5KW
連續工作時間:8小時
具有手動調節網絡參數達到匹配功能
本電源:設有微機外控接口
機柜尺寸:寬600高1500深600mm
匹配網絡: 寬:440高120深340面板484X140mm
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