1. 當前位置: 首頁 - 新聞資訊 - 行業動態

      射頻電源的連接

      發布時間:2022-06-25

      二、工藝流程之前的配置參數和射頻電源硬件連接
      所有的控制之前,都需要將硬件參數配置并連接好。本文不打算詳細介紹如何配置和連
      接,那樣會喧賓奪主。簡單提一下。
      1,硬件安裝之蒸發源功率控制和坩堝轉動控制及擋板控制
      射頻電源有三個蒸發源控制輸出端,分別對應材料參數里的蒸發源 1、2、3。每個
      蒸發源輸出 0~10V,對應 0%~100%功率。
      MXC-3B 的蒸發源 1,正常為 0~10V 輸出,可以設定輸出 0~ 負 7.5V 的功率,此時 100%
      功率,實際輸出負 7.5V。這為 b 改造一些單源負功率控制的早期日系機,提供方便。當超
      過 1 個負時,可額外增加 10V~10V 隔離變壓器。
      例:在材料參數中選擇蒸發源 1,預熔功率 20%,則在該預熔階段,用萬用表量取蒸
      發源 1 的內外芯之間,應能量取到 2.000V 電壓。
      坩堝的轉動配置,相對麻煩一些,詳細參見說明書,此處不展開。 三、鍍一個多層膜系有哪些工藝參數
      射頻電源里,膜系由一系列膜層組成,做好單層膜是基礎,多層膜就簡單了。下圖
      中顯示的是第 m 層的參數。

      長春市星達電子儀器廠是一家提供射頻電源,高頻等離子電源,晶控膜厚儀,直流負偏壓電源,低溫等離子滅菌電源,射頻電源頻等離子電源廠家的一家公司,歡迎您的來電.

      在线播放国产不卡免费视频_日本三级a∨在线观看_最爽古装a片免费视频_影音先锋av网站

      相關產品

        相關新聞