1. 當前位置: 首頁 - 新聞資訊 - 行業動態

      射頻電源的參數

      發布時間:2022-06-18


      參數
      此處分兩種操作,擇其一
      1,由射頻電源做預熔,向晶控儀發送預
      熔參數,一般包含預熔階段 1 的 3 個參
      數和預熔階段 2 的 3 個參數。
      2. 由上位機控制其他如 PLC 預熔。此
      時發送給射頻電源的預熔階段的時間都
      應為 0,最后一個預熔階段的功率要正
      常發送(將作為晶控儀 PID 控制起始功
      率)。
      開始動作 點擊射頻電源界面<開始>按鈕,
      或通過 IO 口啟動開始。
      后續層將自動開始。
      在發送開始命令前,還要發送材料參
      數,如蒸發源號、密度、聲阻抗率、目
      標沉積速率、比例系數、膜層總厚度
      發送<開始>命令
      3. 預熔完成時,打開蒸發源擋板,材料開始沉積
      動作或參數 晶控儀自動 計算機自動
      開擋板 膜系|膜層|材料里設定蒸發
      源號,輸出繼電器里配置擋板
      位置。
      成膜時自動打開
      此處分兩種情況

      長春市星達電子儀器廠是一家提供射頻電源,高頻等離子電源,晶控膜厚儀,直流負偏壓電源,低溫等離子滅菌電源,射頻電源頻等離子電源廠家的一家公司,歡迎您的來電.

      在线播放国产不卡免费视频_日本三级a∨在线观看_最爽古装a片免费视频_影音先锋av网站

      相關產品

        相關新聞