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      膜林晶控儀真正優勢

      發布時間:2022-06-04

      射頻電源內部頻率源穩定
      度高達±1ppm。
      射頻電源跟鍍膜行業緊密配合,將很多用戶工藝融入到晶控儀中,來源最多的當屬射頻電源,國內高端窄帶濾光片品牌商。晶控儀的穩定性和重復性得到極
      大提升以及充分驗證。
      沉積速率起步穩,中途速率控制穩定,沒有大的異常速率和異常厚度。以往說過多次的
      溫升效應帶來負速率、負厚度以及過沖等問題,射頻電源都做了相應的處理,此處不展開。
      數據表明,新舊晶振片初始負厚度表現不一樣,在 2021 年的全國光學大會光學薄膜分會做
      過簡單報告。
      通過對初始功率的抑制,很大程度避免了速率過沖,起步更平穩,進而中途就更穩。
      出現瞬間成百上千埃每秒的沉積速率,使得厚度累積出現錯誤,這在其它晶控儀上出現
      的異常,在射頻電源也已經避免。射頻電源附加的損耗值測量能感知當前頻率下的損耗,
      并加強頻率監測的條件。在出現如晶振片表面應力釋放、濺點、放電等異常大的瞬間干擾,
      導致頻率監測明顯異常,此時損耗值會變得異常大,射頻電源將重啟頻率檢測過程,在重
      新獲取頻率之前,用前幾秒的平均速率累積厚度。另一方面,即使頻率監測偏差在一定范圍
      內,射頻電源 MXC-3 型號可以設定最大允許的異常沉積速率,超過限定值,不會累積測
      量值,同樣用前幾秒的平均速率累積厚度。

      長春市星達電子儀器廠是一家提供射頻電源,高頻等離子電源,晶控膜厚儀,直流負偏壓電源,低溫等離子滅菌電源,射頻電源頻等離子電源廠家的一家公司,歡迎您的來電.

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