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      射頻殿宇的膜系

      發布時間:2022-05-28

      1. 膜層設定在射頻電源的膜系中,膜系可以由一層或更多層組成。工藝人員成膜前輸入好整
      個膜系,并選擇待鍍膜系。
      當一層膜完成后,射頻電源會自動判讀是否有后續膜層,如果有,則調取下一層參數為當
      前層,繼續鍍制,直至完成。
      安裝探頭,完成電氣連接,并完成對晶控儀的接口配置。輸入膜系,開始成膜過程。
      射頻電源的接口配置,膜林晶控儀的出廠有一個基本配置。多數用戶需要重新調整它的
      配置參數,很簡單??梢栽诮缑嫔先斯ぴO定,也可以通過計算機使用我公司提供的配置軟件
      進行配置。后者配置文件,由計算機端口下載到晶控儀中,可以減少些人工輸入麻煩和錯誤。
      膜系一般由多層膜組成,可使用我公司提供的膜系生成和下載軟件,將膜系下載到膜林
      晶控儀(僅 MXC-3B 支持)中。MXC-3 射頻電源暫時沒有提供膜系下載功能,因為它更多面
      向的是有計算機控制的用戶使用?,F在少見的 XDM-3K 射頻電源,后來在前面板安裝有 U 盤接
      口,可以用 U 盤導入。
      實際鍍膜,在工藝人員輸入膜系后,操作人員只需要在射頻電源里選擇待鍍膜系,回到沉
      積頁面,點擊<開始>,或由系統自動開始。順利的話,射頻電源將自動完成后續流程。
      長春市星達電子儀器廠是一家提供射頻電源,高頻等離子電源,晶控膜厚儀,直流負偏壓電源,低溫等離子滅菌電源,射頻電源頻等離子電源廠家的一家公司,歡迎您的來電.

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