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      ?等離子體發生器的放電原理

      發布時間:2021-08-09

         高頻等離子電源廠家的等離子體發生器的放電原理:利用外加電場或高頻感應電場使氣體導電,稱為氣體放電。氣體放電是產生等離子體的重要手段之一。被外加電場加快的部分電離氣體中的電子與中性分子磕碰,把從電場得到的能量傳給氣體。

      電子與中性分子的彈性磕碰導致分子動能增加,射頻電源表現為溫度升高;而非彈性磕碰則導致激起(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態變為自由電子)。高溫氣體經過傳導、對流和輻射把能量傳給周圍環境,在定常條件下,給定容積中的輸入能量和丟失能量持平。
          電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與磕碰頻率(單位時間內磕碰的次數)成正比。在稠密氣體中,磕碰頻繁,兩類粒子的均勻動能(即溫度)很容易達到平衡,因此電子溫度和氣體溫度大致持平,這是氣壓在一個大氣壓以上時的一般情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。在低氣壓條件下,磕碰很少,電子從電場得到的能量不容易傳給重粒子,此時電子溫度高于氣體溫度,一般稱為冷等離子體或非平衡等離子體。射頻電源廠家兩類等離子體各有特點和用途(見等離子體的工業使用)。氣體放電分為直流放電和溝通放電。

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