1. 當前位置: 首頁 - 新聞資訊 - 公司動態

      國內射頻電源行業技術水平現狀

      發布時間:2021-07-19

      目前國內先進的等離子體設備使用的射頻電源,其主要技術性能(如輸出功率、頻率,阻抗匹配網絡等)已和國外同類電源基本一致,但在自動化程度上,體積上以及應用領域方面還有一定的差距。因此,要跟上國際水平,還要開展以下一些工作。

      1、現在國內的射頻電源采用的都是電子管或電子管、晶體管混合電路,體積較天,在一些要考慮體積的地方,限制了它的應用。因而需要采用新技術、新元器件,使射頻電源固態化,小型化。

      2、阻抗匹配網絡是正確使用好射頻電源的重要部件。在國外,阻抗自動匹配網絡已產品化,除了部分濺射、淀積設備照舊使用外,其它等離子體設備,尤其是RIE都已配備上自動的阻抗匹配網絡,從而使設備更趨于完善。在國內這方面還是手動的,雖然在一般情況下可以滿足工藝要求,但操作時不能離人,稍不注意仍會匹配不好。用自動取代手動匹配也是當務之急的工作。

      3、開擴射頻電源的應用領域,研制多性能、多品種的射頻電源,如寬頻帶電源、微波電源等。為電源的發展開創新的道路。

      4、為了較快地趕上國際水平,引進國外的先進技術,根據我國的實際情況,對電源進行改造、更新是發展電源的最快途徑。

      在线播放国产不卡免费视频_日本三级a∨在线观看_最爽古装a片免费视频_影音先锋av网站

      相關產品

        相關新聞